طورت اليابان تقنية جديدة لتسخين ركائز الرقاقة المسطحة ، وهي متفوقة على طرق الطحن والتلميع التقليدية
وفقًا لتقرير على موقع Nikkei الصيني ، قام فريق أبحاث بقيادة البروفيسور Seimatsu Hang من جامعة Waseda في اليابان بتطوير طريقة لتسوية سطح ركائز رقاقة أشباه الموصلات عن طريق التدفئة ، والتي تعد أكثر ملاءمة وأداء عالي الأداء من طرق الطحن التقليدية، وهو مفيد لتحسين عمليات تصنيع أشباه الموصلات.
أجرى فريق الأبحاث تجارب باستخدام ركائز رقاقة كربيد السيليكون.نظرًا لحقيقة أن الرقاقات يتم تصنيعها عن طريق قطع الكتلة البلورية بأكملها إلى شرائح رقيقة ، فإن المقطع العرضي عرضة للتفاوت ولا يمكن استخدامه مباشرة.تتمثل الطريقة التقليدية في الجمع بين طرق متعددة للتلميع والطحن ، ولكن هذا يمكن أن يؤدي إلى تلف داخلي وتشكيل إسقاط السطح.
سيقوم الفريق بتسخين الركيزة ميكانيكيًا للسيليكون كربيد تحت حماية الأرجون والهيدروجين لمدة 10 دقائق إلى 1600 درجة مئوية ، ثم الحفاظ عليها عند 1400 درجة مئوية لفترة من الوقت.في هذه المرحلة ، يصل السطح إلى مستوى ذري من التسطيح.نظرًا لطريقة تشغيلها البسيطة ، والتي تتطلب التدفئة فقط ، مقارنةً بالتلميع التقليدي المتعدد ، فمن المفيد تقصير ساعات التصنيع وخفض التكاليف.
بالإضافة إلى معالجة كربيد سيليكون مواد أشباه الموصلات ، يمكن أيضًا استخدام هذه التكنولوجيا لمعالجة مواد أخرى ذات هياكل شعرية مماثلة ، مثل نيتريد غاليوم ورسومات أرسينيد الغاليوم.
أجرى فريق الأبحاث تجارب باستخدام ركائز رقاقة كربيد السيليكون.نظرًا لحقيقة أن الرقاقات يتم تصنيعها عن طريق قطع الكتلة البلورية بأكملها إلى شرائح رقيقة ، فإن المقطع العرضي عرضة للتفاوت ولا يمكن استخدامه مباشرة.تتمثل الطريقة التقليدية في الجمع بين طرق متعددة للتلميع والطحن ، ولكن هذا يمكن أن يؤدي إلى تلف داخلي وتشكيل إسقاط السطح.
سيقوم الفريق بتسخين الركيزة ميكانيكيًا للسيليكون كربيد تحت حماية الأرجون والهيدروجين لمدة 10 دقائق إلى 1600 درجة مئوية ، ثم الحفاظ عليها عند 1400 درجة مئوية لفترة من الوقت.في هذه المرحلة ، يصل السطح إلى مستوى ذري من التسطيح.نظرًا لطريقة تشغيلها البسيطة ، والتي تتطلب التدفئة فقط ، مقارنةً بالتلميع التقليدي المتعدد ، فمن المفيد تقصير ساعات التصنيع وخفض التكاليف.
بالإضافة إلى معالجة كربيد سيليكون مواد أشباه الموصلات ، يمكن أيضًا استخدام هذه التكنولوجيا لمعالجة مواد أخرى ذات هياكل شعرية مماثلة ، مثل نيتريد غاليوم ورسومات أرسينيد الغاليوم.